三維偏振XRF （能量色散X射線熒光）因使用了極化靶使其與傳統的能量色散XRF不同。
Epsilon 5
降低背景
Epsilon 5
??? Epsilon 5是極化EDXRF譜儀，其光路核心是3維或稱笛卡兒幾何光路所定義的3維取向。來自光管的初級光束(黃色)激發到第一個軸向的極化靶.經過90散射，X向第二軸向向前進（藍色）到達樣品。樣品產生的光品被探測器接收，探測器在第三軸向位置（粉色）。
降低背景
??? 通過極化該幾何光路消除了X射線光管的光譜，因此極大降低了光譜背景，背景比傳統的2維光路的背景低了一個數量級，獲得更低的檢出限。
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二次靶
??? 極化靶提供了進一步的優點，盡管一些靶材料能散射自X光管到達樣品的輻射，而另一些材料的熒光產額高，幾乎是能單色激發樣品。通過使用不同材料的靶材，有可能優化激發源，尤其是針